Химический состав и трибологические свойства алмазоподобных покрытий, сформированных импульсным лазерным осаждением углерода в реакционном газе — сероводороде
С. Н. Григорьев, Д. В. Фоминский, В. Н. Неволин, М. А. Волосова, А. И. Грунин, К. Ю. Максимова, В. Ю. Фоминский
Пассивирование свободных углеродных связей в алмазоподобных покрытиях a-C химическими связями с атомами серы и водорода может оказывать значительное влияние на трибологические свойства покрытий такого типа. Исследованы возможности регулируемого легирования элементами S и Н алмазоподобных покрытий a-C:H:S при использовании метода реакционного импульсного лазерного осаждения из углеродной мишени в сероводороде. Установлено, что повышение давления H2S с 2 до 20 Па позволило увеличивать концентрацию S от 10 до 50 ат. %. При этом концентрация H изменялась в меньшей степени (от 10 до 18 ат. %). Уменьшение скорости роста покрытия при повышении давления H2S указывало на взаимодействие углеродной лазерной плазмы с молекулами газа, вызывающего как активирование процессов легирования покрытий, так и образование летучих углеводородов. Исследование покрытий методом комбинационного рассеяния (КР спектроскопия) показало существенное влияние атомов S на локальную упаковку атомов С в покрытиях. Этот эффект оказал значительное влияние и на трибологические свойства покрытий a-C:H:S, осажденных на стальные подложки. В триботестах по методике возвратно-поступательного скольжения стального шарика наилучшими свойствами обладали покрытия, содержащие ~ 21 ат. % S и ~ 14 ат. % Н. Во влажном воздухе коэффициент трения для этих покрытий составлял ~ 0,17, но трибо-индуцированная графитизация покрытия обуславливала относительно быстрый износ в паре трения. В инертном газе (аргоне) коэффициент трения уменьшался до очень низкой величины 0,02 при слабом износе покрытия и контртела. В этих условиях графитизация покрытия a-C:H:S протекала только в тонком поверхностном слое (трибопленке), а заметного изменения структурного состояния самого покрытия в треке износа не обнаружено. Дальнейшее повышение концентрации серы оказало негативное влияние на трибологические свойства покрытий a-C:H:S.
Ключевые слова: алмазоподобные покрытия, трибологические свойства, коэффициент трения, импульсное лазерное осаждение, реакционная среда, элементный состав, легирование серой, спектроскопия комбинационного рассеяния.
DOI: 10.30791/1028-978X-2025-11-5-16
Григорьев Сергей Николаевич — МГТУ “СТАНКИН” (127055 Москва, Вадковский пер., 1), доктор технических наук, главный научный сотрудник, заведующий кафедрой высокоэффективных технологий и обработки, специалист в области обработки материалов и нанесения покрытий высокоэнергетическими потоками. E-mail: s.grigor@stankin.ru
Фоминский Дмитрий Вячеславович — Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ” (115409 Москва, Каширское ш., 31), кандидат технических наук, старший научный сотрудник, cпециалист в области лазерных технологий модифицирования материалов и нанесения покрытий. E-mail: dmitryfominski@gmail.com
Неволин Владимир Николаевич — Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ” (115409 Москва, Каширское ш., 31), доктор физико-математических наук, профессор, специалист в области физики тонких пленок и наносистем. E-mail: vnnevolin@mephi.ru.
Волосова Марина Александровна — МГТУ “СТАНКИН” (127055 Москва, Вадковский пер., 1), доктор технических наук, доцент кафедры высокоэффективных технологий и обработки, cпециалист в области обработки материалов и нанесения покрытий с применением ионно-плазменных и аддитивных технологий. E-mail: m.volosova@stankin.ru
Грунин Алексей Игоревич — БФУ им. И. Канта (236041 Калининград, ул. Александра Невского, 14), кандидат физико-математических наук, научный сотрудник, cпециалист в области нанесения тонкоплёночных покрытий и их исследования методом спектроскопии обратного резерфордовского рассеяния ионов. E-mail: alexey.grunin@gmail.com
Максимова Ксения Юрьевна — БФУ им. И. Канта (236041 Калининград, ул. Александра Невского, 14), научный сотрудник лаборатории, специалист в области лазерного напыления тонких плёнок и их исследования методами ионной спектроскопии. E-mail: xmaksimova@gmail.com
Фоминский Вячеслав Юрьевич — Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ” (115409 Москва, Каширское ш., 31), доктор физико-математических наук, профессор, главный научный сотрудник, специалист в области физики твердого тела и наносистем различного функционального назначения. E-mail: vyfominskij@mephi.ru.
Ссылка на статью:
Григорьев С.Н., Фоминский Д.В., Неволин В.Н., Волосова М.А., Грунин А.И., Максимова К.Ю., Фоминский В.Ю. Химический состав и трибологические свойства алмазоподобных покрытий, сформированных импульсным лазерным осаждением углерода в реакционном газе — сероводороде. Перспективные материалы, 2025, № 11, с. 5 – 16. DOI: 10.30791/1028-978X-2025-11-5-16
Литература содержит 19 ссылок.
См. подробнее о статье на сайте e-library